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LZL — 203 系列四極質譜計

   四極質譜計是在高真空條件下,離子源的電子轟擊氣體分子使其離化。離子進入四極過濾器按不同質荷比分離,采集離子流,放大后進行數據處理,獲得相應的質譜數據。儀器可安裝在使用者的高真空設備上進行殘氣分析,亦可配備適當的高真空系統和進樣裝置作為獨立的分析儀器使用。離子流采集的常規結構為法拉弟筒 / 通道倍增器復合式(即 FC/CEM )。離子流放大器的輸入高阻設為 10M Ω ,1G Ω , 100G Ω 三擋,采用電子倍增器方式時一般選用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。儀器控制與數據處理系統適用于 WindowsXP 或 Windows2000 ,儀器提供模擬譜圖,棒狀譜圖和多達 10 個離子的多離子監測譜圖。數據系統的接口界面由 80C 196 單片機( 16 位)以及 A/D 、 D/A 等構成, RS232 串口與電腦通訊實現儀器的控制與數據處理。儀器安裝方便,操作簡單可靠,廣泛應用與真空科學、電子、半導體工業、石油化工的催化研究等多種領域。另外,本儀器可以派生為專用儀器,如,已用于計量部門作為鑒定分子漏孔的氦四極質譜計。

儀器主要技術指標

•質量范圍: 1 — 100u , 1 — 200u , 1 — 300u

•靈敏度: 1 × 10 -1 A/Pa ( 對 N-- 2 ,帶 CEM)

•分辨率: △ m < 1 ( 10% 谷)

•峰位穩定性: ± 0.4u/4h

•掃描速度: 100ms — 30s/u

•檢測器: FC , FC/CEM ,或 FC/MCP

( FC —法拉弟筒 , CEM 通道倍增器

MCP —微通道板)

最高工作壓強: 1 × 10 -2 Pa

最高烘烤溫度: 30 0 ℃

接口法蘭: CF50 , CF63

 

 

電子單元尺寸: 240 × 150 × 150mm

四極探頭伸入真空腔尺寸:

1-100u : φ 70X180mm

1-300u : φ 70X250mm

為新老用戶服務項目

•設計制造高真空系統,真空進樣裝置

•維修和改造原北京分析儀器廠生產的質譜計

•國外質譜儀的維修等

Tel:(010)62403150

E-mail:zhanghanxun@163.com

Fax:62451377

郵編; 100095 地址:北京市海淀區溫泉

 

 

 

 

 

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